【摘 要】
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采用水基化学溶液涂布(water-based coating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜.系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和
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采用水基化学溶液涂布(water-based coating)的方法,在SiO2/Si上制备出了LaNiO3(LNO)导电金属氧化物薄膜.系统研究了退火温度、退火时间、厚度等工艺条件对LNO薄膜电学特性和结构的影响,并进一步分析了产生这些现象的原因.制备的LNO薄膜电阻率为1.77×10-3Ω@cm,且具有良好的形貌.以LNO为独立下电极,制备出了Au(Cr)/PZT/LNO/SiO2结构的铁电电容,通过其电滞回线和漏电特性的测试,可见制备的LNO薄膜可以很好地满足作为铁电电容电极的需要.
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