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微机械加速度计作为微机电系统（MEMS）的一个重要产品，目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型，并着重讨论了各个部分之间的关系；然后根据敏感元件的特性，对伺服回路的几个关键参数，即预载电压、PID校正参数和反馈增益，进行了分析；本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果，结果表明：微机械加速度计的量程为±15gn，非线性度为0．0419％，阈值为0．15mgn，2h稳定性误差为0．0845mgn，逐次启动重复性误差为0．156mgn。