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综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状.分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数,讨论了线宽粗糙度的测量障碍.分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成,讨论了采用原子力显微镜为工具的线宽粗糙度测量的影响因素.
纳米尺度线宽粗糙度测量技术
【摘 要】
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综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状.分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数,讨论了线宽粗糙度的测量障
【机 构】
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北京理工大学信息技术学院,北京100081;哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨150001北京理工大学信息技术学院,北京100081哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨150001中国计量科
【出 处】
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2008年全国几何量精密测量技术学术交流会
【发表日期】
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2008年8期
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