【摘 要】
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液晶高分子聚合物(Liquid crystal polymer,LCP)作为一种新型的射频电子基板,广泛应用于射频电路系统集成。为了实现系统的小型化,垂直互连工艺被广泛用于异面信号之间的相互
【机 构】
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西安邮电大学电子工程学院; 中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所;
【基金项目】
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国防基础科研项目(JCKY2016203C081)
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液晶高分子聚合物(Liquid crystal polymer,LCP)作为一种新型的射频电子基板,广泛应用于射频电路系统集成。为了实现系统的小型化,垂直互连工艺被广泛用于异面信号之间的相互传输系统。但是LCP作为一种新型的集成工艺,在制作过程中难以实现盲埋孔技术。本文提出了一种用于LCP系统集成技术的新型垂直互连工艺,通过在上层基板底部和底部基板金属表层制作焊盘,在粘合层中利用铜浆互连结构,实现了LCP基板中异面信号之间的垂直互连。测试结果证明了该结构的电连接性良好。
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