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Characterization of ultra-thin Y2O3 films as insulator of MFISFET structure
【机 构】
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FacultyofMaterialsandOptoelectricPhysics,KeyLaboratoryforAdvancedMaterialsandRheologicalPropertiesof
【出 处】
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Transactions of Nonferrous Metals Society of China
【发表日期】
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2006年B01期
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