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以苯甲醚为溶剂，采用旋涂法制备PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）转移层膜。当PMMA的质量分数为5％、旋涂速度为2000-6000r／min时，转移层膜的厚度为90～150nm，粗糙度为0．3nm，可满足纳米压印要求。采用接触角测量仪测试计算出PMMA、PS转移层膜的表面能，并通过转移层膜与压印胶之间的粘附功和界面张力的计算，评价了PMMA、PS和Si片对压印胶的润湿和粘附性能。结果表明，PMMA膜可改善压印胶在基片上的润湿铺展性能和粘附性能，而PS膜虽能改善基片的润湿铺展性能，却不利于压印胶的粘附。