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通过对表面形貌测量的参数设置、计算机后处理对采集数据进行重构生成的要求以及在已有PID、模糊PID方法分析的基础上,建立了基于柔性模糊PID算法的表面形貌测量仪驱动控制系统,并对柔性模糊论域的建立方法进行了说明。利用所建立的控制系统,对柔性模糊PID以及已有的控制方法进行仿真分析与实验验证,进一步验证了采用柔性模糊PID控制的驱动系统速度较稳定、工作台振动较小。