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分析芯片微通道制作技术进展
分析芯片微通道制作技术进展
来源 :中国工程科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dlufey
【摘 要】
:
微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一.就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了微流体芯片产业化的可行性方案.
【作 者】
:
魏守水
张玉林
崔大付
【机 构】
:
山东大学控制科学与工程学院,中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
:
中国工程科学
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
分析芯片
微细加工
μ-TAS
analysis chip
microfabrication
μ-TAS
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微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一.就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了微流体芯片产业化的可行性方案.
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