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生产电子工业用高纯氮的制氮装置 ,其要点和难点是一氧化碳和氢的清除。采用一氧化碳转换炉和特殊的冷箱内流程组织 ,可以生产纯度为 99 9999%以上的高纯氮。对制取电子工业用高纯氮制氮装置与常规制氮装置加氮终端净化器两种流程进行了比较。
电子工业用高纯氮的生产
【摘 要】
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生产电子工业用高纯氮的制氮装置 ,其要点和难点是一氧化碳和氢的清除。采用一氧化碳转换炉和特殊的冷箱内流程组织 ,可以生产纯度为 99 9999%以上的高纯氮。对制取电子工业
【机 构】
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苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司; 苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司 江苏省苏州市齐陆路7号215131; 江苏省苏州市齐陆路7号215131;
【出 处】
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深冷技术
【发表日期】
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2003年05期
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