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微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域。集约了当今科学技术发展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔。该文指明了MEMS技术的发展面临的问题及趋势，有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化。