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<正> 涂于基板的有机固化涂膜因种种原因常需进行脱除处理。过去采用的方法主要有机械脱膜,溶蚀脱膜,机械、溶蚀并用的混合式脱膜等。当涂层厚度超过数毫米时,则须采用燃烧脱膜法。溶蚀脱膜的缺点是费时,所用酸碱或溶剂会污染环境;机械脱膜和燃烧脱膜极易损坏基板。曾有日本专利提出一种低浓度碱性脱膜法,与