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<正>集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技术的发展,光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。集成电路产业是现代信息社会的基石。集成电路的发明使电子产品成本大幅度降低,尺寸奇迹般减小,以计算机为例,1946年诞生的世界第一台数字计算机重30吨,占地约
光刻技术的历史与现状
【摘 要】
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<正>集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技术的发展,光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。集成电路产业是现代信息社会的基石。集成电路的发明使电子
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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科学
【发表日期】
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2017年03期
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