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介绍了微小型静电泵工作原理，分析了上腔充压的静电泵阀腔的形状与结构、所加激励电压、可动薄膜面积与厚度对泵的压力、流量、受力和变形的影响，提出了一套完整的数据图标和表格，例如激励敏感膜片的绕度及相应鼓起的体积、膜上所承担压力及其所受的径向应力与泵的半径和膜厚的关系图、表，以便选用。
微小型静电泵的设计（1）
【摘 要】
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介绍了微小型静电泵工作原理，分析了上腔充压的静电泵阀腔的形状与结构、所加激励电压、可动薄膜面积与厚度对泵的压力、流量、受力和变形的影响，提出了一套完整的数据图标和表
【机 构】
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天津市计量技术研究院,河北工业大学
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2016年7期
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