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采用Silvaco TCAD软件,对P+-P-N-N+ SOS结构输出脉冲宽度的参数影响规律进行了一维数值模拟研究,包括N+区扩散深度、有效横截面积、外电路参数等.模拟结果表明:随着N+区扩散深度、有效横截面积的增加和外电路电阻的增大,输出脉冲的宽度减小.通过参数优化,获得了脉宽约为4ns的输出脉冲.