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本文介绍了液相外延技术在制备硅材料、碲镉汞材料、石榴石型单晶材料、Ⅲ-Ⅴ族半导体材料和其他一些无机材料方面的应用，简述了液相外延技术近十多年来在系统改善、工艺改进和相关理论研究方面的成果，并指出了液相外延技术相对于其他外延技术的优势及其发展需要克服的困难。
液相外延技术发展现状
【摘 要】
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本文介绍了液相外延技术在制备硅材料、碲镉汞材料、石榴石型单晶材料、Ⅲ-Ⅴ族半导体材料和其他一些无机材料方面的应用，简述了液相外延技术近十多年来在系统改善、工艺改进
【机 构】
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上海大学电子信息材料系,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2006年6期
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