从反射面检测锥体棱镜直角误差的方法

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介绍了一种使用平面干涉仪检测锥体棱镜直角误差的方法。使用这一检测方法时需要制做一个角度为24.4°的夹具,将被测棱镜放置在夹具之上。这个夹具的作用是,可以使来自干涉仪的标准平行光束(测试光束)由反射面折射入棱镜内,并且垂直于被测直角棱线,经被测直角两个面的反射光仍按原光路返回。当出射光束与干涉仪的标准平行光束(参考光束)重合时产生干涉,实现在平面干涉仪上对锥体棱镜直角误差的测量。与传统的测量方法相比较,该方法具有测量准确、计算精度高的特点。适合于对高精度锥体棱镜(α≤3″)直角误差的测量。 A method to detect the right angle error of pyramid prism using plane interferometer is introduced. The use of this test method requires the manufacture of a 24.4 ° angle of the fixture, the prism will be placed under the test fixture. The role of this fixture is that the standard parallel beam (test beam) from the interferometer can be refracted into the prism from the reflecting surface and perpendicular to the measured right-angled ridge. The reflected light from both sides of the measured right angle is still in the original optical path return. Interference occurs when the exit beam coincides with the standard parallel beam (reference beam) of the interferometer, which realizes the measurement of the right angle error of the pyramid prism on the plane interferometer. Compared with the traditional measurement methods, this method has the characteristics of accurate measurement and high accuracy of calculation. Suitable for high-precision cone prism (α ≤ 3 ") measurement of the right angle error.
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