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为了监测半导体前段制造厂的机台在生产过程中的关键参数，提出了一种基于无线传感器网络和以太网的半导体机台数据采集方案，研制了传感器节点和簇头节点，给出了传感器节点的硬件设计过程和部分源程序。测试结果表明：该系统可以对半导体机台关键生产参数进行远程采集、历史数据查询和故障实时报警，提高了半导体产品的良率以及工程师的工作效率。