硅功率微波单片集成电路

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本文简述了硅功率微波单片集成放大器的电路设计、工艺制作和电路性能。该电路工作频率为50~500MHz,1dB压缩点输出功率P_(-1)≥500mW,功率增益G_P=13~15dB,增益平坦度△G_P=±1dB,驻波比1:2。
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