【摘 要】
：
分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In2Ga2ZnO7（IGZO）靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材烧结致密度和微观结构的影响。结果表明,混合
【机 构】
：
中南大学材料科学与工程学院; 桂林电子科技大学材料科学与工程学院; 广东省科学院;
【基金项目】
：
广西信息材料重点实验室自由探索基金(1210908-204-Z,1110908-05-K)
论文部分内容阅读
分别用化学共沉淀粉和单元氧化物混合粉为原料烧结制备In2Ga2ZnO7（IGZO）靶材,对比研究了煅烧温度、烧结温度、烧结气氛、保温对靶材烧结致密度和微观结构的影响。结果表明,混合粉比共沉淀粉更容易促进烧结致密化,但通过选择合适的煅烧温度和烧结工艺,两种原料粉均可获得密度高于99.5%的IGZO靶材。靶材烧成前1100℃保温效果最好,最佳烧成温度区间为14001450℃。共沉淀粉优选煅烧温区为9001050℃,烧结时对氧气气氛更敏感;混合粉优选煅烧温区为750900℃,且在氧气气氛下烧结优于空气。此外,共沉淀粉烧结体晶粒均匀分布、晶界清晰,而混合粉的烧结体表面晶界模糊,呈"网格状"和"层状"形貌。
其他文献
近年来,把大规模定制与供应链结合起来的研究较多。本文回顾和整理了国内外的大规模定制供应链文献,分析了大规模定制供应链特征、运作优化、延迟策略、计划调度、客户订单分
多学科融合或通过跨学科研究问题是当代运用科学技术创造性解决问题的方法．为了满足社会发展和科技进步对学校教育的要求，很多教育研究者都将目光转向了学科交叉和学科融合，其中
图书采购是图书馆工作的基础。一个图书馆藏书质量的高低，关键在于图书的采购。图书馆采购工作质量好坏，直接影响着图书馆藏书建设和图书流通率。加强图书采购工作不仅利于图书
将生态文明教育融入高中生物教学,既是我国国情的需要,也是培养学生生态文明意识和促进学生健康成长的需要.在高中生物教学中,结合高中生年龄和个性心理的特点,有目的、有计
随着医学模式的转变，健康教育已成为护理人员的根本任务。对老年住院患者实施系统的健康教育，可提高老年病人的防病治病意识，使其在住院期间能够积极配合治疗，出院后能最大限度地
我国的数学基础教育改革在历经很长时间的磨砺之后，累积了很多宝贵的经验，在教育理论和教学方法实践等方面都呈现出巨大的变化。我们在数学基础教育的改革发展进程中，要正视其发