论文部分内容阅读
半导体制造的晶圆代工厂应着产品不同的特性,在除了提供满足客户要求的质量外,还提供多种生产周期的服务。客户依据产品的不同特性.在产品的交货日期和价格间.选择合适的加工模式。晶圆加工厂不仅可以争取更多的客户.而且可以提升产线的整体利用率,降低生产成本.进而避免客户急单对生产线的无序影响。本文讨论晶圆加工厂如何提供多种生产周期产品的派工方法。并修正最小宽裕时间派工法则.利用等候理论估算各工件在各种机台群的等待时间,依机台利用率的不同机台群设置长短的等待时间。随之.考虑各工件尚有多少余裕时间及其剩余的加工步骤中.