塑性形变对微电子封装热应力的影响

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jdbc_jiang
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采用ABAQUS有限元软件,对封装工艺进行研究,建立金属外壳封装热应力仿真模型。在典型的弹塑性力学模拟理论的基础上,将金属塑性行为引入到该外壳封装热应力模拟计算中,对比了引入金属塑性行为前后外壳封装热应力分布及大小变化,系统地分析了金属塑性行为对外壳热应力分布和形式的影响机制。结果显示,未考虑金属塑性行为时,计算的封装最大应力远超出金属的屈服应力值和陶瓷的断裂强度,引入其塑性行为后外壳的最大等效应力下降了约23%,同时陶瓷件所受的最大拉应力下降了约21%,表明引入塑性行为可有效提升封装应力仿真的计算精度。
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