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采用等离子体化学气相沉积法制备P型非晶硅薄膜,系统研究了沉积工艺对薄膜结构和性能的影响,并着重分析p层掺杂量对电池性能的影响.结果表明：200℃,400 Pa,氢稀释度为40,沉积功率为60W,硼掺杂量为1.5%所得B掺杂非晶硅薄膜样品带隙达到1.95 e V,电导率超过9 S cm-1.掺杂量为1.5%的p型薄膜应用到非晶硅电池时,电池性能有明显提高,最高效率达到8.86%.