【摘 要】
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本工艺的金属布线类似于激光直接成型(LDS)技术,首先使用脉冲激光刻蚀材料表面直接成型,接着进行化学镀铜处理,最终在聚氨酯(PUR)表面得到镀铜线条。激光的脉冲频率、扫描速
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51475174);福建省科技创新平台建设项目(2011H2003)
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本工艺的金属布线类似于激光直接成型(LDS)技术,首先使用脉冲激光刻蚀材料表面直接成型,接着进行化学镀铜处理,最终在聚氨酯(PUR)表面得到镀铜线条。激光的脉冲频率、扫描速度、功率都会对镀线的质量有影响。分析脉冲重复频率对线条连续性的影响规律,并得到相应公式。公式表明,脉冲频率应大于等于75 k Hz时,刻蚀线条才会连续。采用Phenom Pro X型扫电子显微镜研究了激光参数对镀铜线条质量的影响。结果表明,当激光功率为7 W,扫描速度3 m/s、脉冲重复频率75 k Hz时,得到的镀铜线条质量最好。
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