基片温度对CNx薄膜性能和结构的影响

来源 :燕山大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Dream_624727

【摘要】

：

采用离子束溅射法,在单晶Si(100)基片上制备CNx薄膜.研究了基片温度对CNx薄膜性能和结构的影响.结果表明:随着基片温度的提高,薄膜生长致密,表面光滑;薄膜硬度逐渐提高,但温

【作者】

：

柳翠李东春于栋利何巨龙田永君刘世民

【机构】

：

燕山大学材料科学与工程学院

【出处】

：

燕山大学学报

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

CNX薄膜离子束溅射温度性能结构单晶硅 CN films ion beam sputtering temperature.

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用离子束溅射法,在单晶Si(100)基片上制备CNx薄膜.研究了基片温度对CNx薄膜性能和结构的影响.结果表明:随着基片温度的提高,薄膜生长致密,表面光滑;薄膜硬度逐渐提高,但温度升高到200℃后,硬度增加缓慢.同时,基片温度升高使薄膜中的N含量增加,促进C-N化合物结晶.X射线衍射结果证明在850℃时,薄膜中产生α-C3N4晶相.

其他文献

大数据时代下的企业人力资源管理研究探析

大数据时代的到来意味着数据从简单的处理对象开始转变为一种基础性资源,对于企业来说,如何更好地管理和利用数据至关重要。本文首先从大数据的概念、特征和类型着手,接着对

期刊

大数据企业管理机遇挑战

试论朱熹在教育观上的重大创造及对当今公民道德建设的启迪

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

会议

朱熹教育观知行并重忠恕道德建设

平均血小板容积对rtPA静脉溶栓治疗的缺血性脑卒中病人预后的预测价值

目的:探讨平均血小板容积(MPV)对重组组织型纤溶酶原激活剂(rt PA)静脉溶栓治疗的缺血性脑卒中病人预后的预测价值。方法:采用改良Rankin量表(MRS)评价rt PA溶栓治疗病人预后

期刊

脑缺血静脉溶栓重组组织型纤溶酶原激活剂平均血小板容积

理想信念教育生活化的三重解读

＂广泛开展理想信念教育,深化中国特色社会主义和中国梦宣传教育＂,是党的十九大报告提出的明确要求。作为精神之巅的理想信念,源于具有超越性的人的生命活动,植根于人的生命活动

期刊

理想信念教育生活化实践路径

书写煤炭革命与发展的中国方案——中国工程院咨询项目“煤炭革命的战略与方向”成果发布

期刊

煤炭革命煤炭科学产能同煤集团兖矿集团中国工程院煤炭行业成果发布

基于小脑模型的广义预测控制快速算法

从状态空间的角度推导出广义预测控制算法,并利用小脑模型(CMAC)提出了一种新型广义预测控制快速算法,解决了传统GPC算法计算量大的问题.仿真结果表明该算法的有效性.

期刊

广义预测控制快速算法小脑模型.

CUTTING REGULARITY AND DISCHARGE CHARACTERISTICS BY USING COMPOSITE COOLING LIQUID IN WIRE CUT ELECT

<正>The analysis of cutting regularity is provided through using and comparing two typical cooling liquids.It is proved that cutting regularity is greatly affec

期刊

放电性能机械性能冷却工程移动速度Wire cut electrical discharge machine with high wire traveli

让作文放飞孩子们的自由梦想

生活是学生作文的活水源头,生活是丰富多彩、五彩缤纷的,作为教师应该注意引导学生把目光投向广阔的生活空间,及时记下自己的观察所得;帮助他们在丰富多彩的语文实践活动中积

期刊

写作创新表达激趣

正确制定政策应遵循的几个原则

期刊

暂行条例暂时性企业破产法第二次国内革命战争时期职工代表大会群众路线国营工业全民所有制企业教条主义国共合作

基片温度对CNx薄膜性能和结构的影响

其他学术论文