基于三菱电机控制系统控制提升研磨带对面板表面研磨的效率

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本次研究通过对研磨带进行GAP损耗补偿,改变设备研磨带使用量的上下限,从而达到降低研磨带更换频率的目的,最终实现提升研磨带利用率,节约经济成本,希望本文的研究能为研磨工艺积累宝贵的经验.
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