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期刊论文
微电磁光开关的结构设计与性质模拟
微电磁光开关的结构设计与性质模拟
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenzhen881219
【摘 要】
:
基于微电磁光开关的工作原理,设计了MEMS电磁反射型光开关.采用ANSYS9.0有限元软件分析结合Mathematica数值计算研究了微电磁光开关所需的电磁力、磁芯线圈的磁场分布、悬臂
【作 者】
:
吴雅苹
陈晓航
吴志明
【机 构】
:
厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室,厦门大学物理系半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心,厦门大学物理科学与技术学院
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2019年9期
【关键词】
:
微电磁光开关
磁芯线圈
悬臂梁
有限元模拟
micro-electro-optical switchcore coilcantilever beamfinite
【基金项目】
:
九江市杰出青年基金项目(No.2018042),厦门大学校长基金项目(No.20720190055).
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基于微电磁光开关的工作原理,设计了MEMS电磁反射型光开关.采用ANSYS9.0有限元软件分析结合Mathematica数值计算研究了微电磁光开关所需的电磁力、磁芯线圈的磁场分布、悬臂梁受电磁力的形变状态,从而获得磁芯线圈的匝数、悬臂梁位置、悬臂梁与平面磁芯线圈接触区域等结构参量.
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