【摘 要】
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本文报道了利用Ｓｉ单晶各向异性的特点，在两块Ｓｉ单晶片上，择优蚀刻出排列形状不同的Ｖ形Ｓｉ槽，通过嵌入Ｖ形槽中的光纤，将间距为６０μｍ的１０个光信号耦合到探测器的间距为１０００μｍ的１０个接收面上。
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本文报道了利用Ｓｉ单晶各向异性的特点，在两块Ｓｉ单晶片上，择优蚀刻出排列形状不同的Ｖ形Ｓｉ槽，通过嵌入Ｖ形槽中的光纤，将间距为６０μｍ的１０个光信号耦合到探测器的间距为１０００μｍ的１０个接收面上。
This paper reports the use of anisotropic characteristics of Si single crystal, the two Si single-chip, the preferred etching of the V-shaped Si grooves are arranged in different shapes, by inserting the V-groove optical fiber, the pitch of 60 light 10 light The signal is coupled to the 10 receiving faces of the detector at a pitch of 1000 μm.
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