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随着超大规模集成电路工艺的高速发展,特征尺寸越来越小,而静电放电(Electrostatic Discharge)对器件可靠性的危害变得越来越显著.因此,静电放电测试已经成为对器件可靠性评估的一个重要项目.介绍了ESD的4种等效模型:人体、机器、器件充电和场感应模型,以及各模型的特点和等效测试电路.同时较详细的介绍了ESD的测试方式和方法.