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为了实现质谱微量气体信号检测及其它自动测控系统中的真空度快速进入稳态,提出了脉冲进气宽度可调真空度自动控制系统.给出了系统的结构,根据建立的数学模型推出了真空系统参数的辨识公式和系统控制律.通过计算机进行了仿真实验,证明该种方法有效可行.
微量气体定量分析中真空度自动控制技术
【摘 要】
：
为了实现质谱微量气体信号检测及其它自动测控系统中的真空度快速进入稳态,提出了脉冲进气宽度可调真空度自动控制系统.给出了系统的结构,根据建立的数学模型推出了真空系统
【机 构】
：
兰州物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
：
2001年4期
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