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首先从理论上阐述了声表面波（SAW）谐振器传播属性的有限元分析（FEA）法；然后利用ANSYS软件，对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析；最后处理仿真结果并得到结论：通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAw中质点的运动轨迹是椭圆，通过模态频率和对应的波长算出SAW在ST切石英晶片中的传播速度，通过分析纵向节点模态位移得出SAW的能量集中在距表面2个波长深度的范围内，通过幅频特性图得出谐振器在SAW频率处具有最大的频率响应。这些结论与理论基本一致，为设计SAW器件和研究SAW传感器提