【摘 要】
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本文对总厚度为700—1000埃的铬膜及氧化铬膜的气体等离子体腐蚀工艺进行了实验研究。实验采用两种气体等离子体得到了不同射频功率及气压下的腐蚀速率,给出了最佳腐蚀条件。
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本文对总厚度为700—1000埃的铬膜及氧化铬膜的气体等离子体腐蚀工艺进行了实验研究。实验采用两种气体等离子体得到了不同射频功率及气压下的腐蚀速率,给出了最佳腐蚀条件。结果表明气体等离子腐蚀技术可使生产工艺简化,图形侧向腐蚀小而且清洁,能做出1微米线宽的高质量精细图形;对2.5平方英寸版面进行腐蚀,图形边缘陡直并且均匀。
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