【摘 要】
：
基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管（TFT）进行器件仿真，并结合实验验证，重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响。仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构，沟
【机 构】
：
西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室,西安交通大学微电子学院
论文部分内容阅读
基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管（TFT）进行器件仿真，并结合实验验证，重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响。仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构，沟道层采用非晶IGZO材料，绝缘层采用SiNx和HfOz多种不同组合的叠层结构。仿真及实验结果表明：含有高k材料的栅绝缘层叠层结构较单-SiNx绝缘层结构的TFT性能更优；对SiNx／HfO2／SiNx栅绝缘层叠层结构TFT，HfO2取40nm较为合适；对含有高k材料的3层和5层绝缘层叠层结构TFT，各叠层厚度相同的对称结
其他文献
在经济全球化的趋势下,各国之间的经济交往日益频繁,经济联系更加紧密,这给我国的中小企业带来机遇的同时也使其遭受巨大的竞争压力。本文通过分析中小企业进行国际贸易融资
由于多类不平衡数据中某些类别的样例数特别少，使得基于支持度一置信度的关联分类方法在这些类上产生的规则较少，甚至没有，从而导致这些类别的样例很难准确分类．针对此问题，文中提
毛泽东的行政人格思想是毛泽东思想的重要组成部分之一。它是以传统儒学思想为思想渊源,是近代湖湘文化与马克思主义在实践基础上的有机结合。在社会转型的新时期,继承和发扬
我国城市化进程加快发展,城市边缘区作为城市扩张发展的首要区域,其重要程度不言而喻。现今城乡问题日益凸显,城市边缘区建筑作为城镇的构成基础,在中心城市建筑日新月异与乡
腰椎间盘突出症(lumbar disc herniation,LDH)是引起腰腿痛的主要原因,是临床常见疾病[1],发病率较高,其治疗也备受关注,规范化保守治疗效果不佳需考虑手术治疗,而临床上的手
1925年,人到中年的亨利·贝斯顿(Henry Beston,1888-1968)在位于科德角的外海滩买下一块地并自己设计草图,请人在濒海的沙丘上建了一所简陋的小屋。起初,他只是想在翌年秋季
慢性难愈性皮肤溃疡的形成内因在于人体正气不足。卫气、营气、肾精是人体正气由浅入深的三个不同层次 ,也对应着邪气内侵、疾病发展的三个阶段。以扶正驱邪为治则 ,指导不同
针对覆杯实验中杯内留有空气仍能支撑水柱的实验进行了定量的分析和推导,通过理论和实验分析总结出了该实验现象出现的原因,并就要重复实现本实验的条件进行了总结.
目的：探讨医务人员发生职业暴露的主要因素，及有效的干预措施。方法对我院2012年7月-2013年9月医务人员发生职业暴露的情况进行汇总分析。结果医务人员职业暴露以锐器伤为主，占9
为了给河西地区的山地—绿洲—荒漠生态系统耦合作用和农、林、草、畜优化模式的研究提供基本数据。本文在地面考察与遥感解译的基础上 ,划分了 6大类和 1 8个景观类型。运用