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扩散硅差压测量系统的理论计算与误差分析
扩散硅差压测量系统的理论计算与误差分析
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaolaohu_521
【摘 要】
:
本文着重分析计算了扩散硅差压测量系统的测量原理、理论计算、设计与误差分析。文中提出的一组设计公式和基本误差分析方法是行之有效的,在作者完成的课题中得到应用并经实践
【作 者】
:
于振毅
刘波
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2001年z1期
【关键词】
:
弹性元件
基本误差
扩散硅力敏器件
非线性
Elastic element Basic error Diffused|silicon p
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本文着重分析计算了扩散硅差压测量系统的测量原理、理论计算、设计与误差分析。文中提出的一组设计公式和基本误差分析方法是行之有效的,在作者完成的课题中得到应用并经实践所证实。本文讨论的问题完全适用于扩散硅差压密度计、差压压力计及其传感器和变送器的理论计算、设计与误差分析。
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