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电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究。了解其使用性能和参数设置方法，在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口。实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明。设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。
基于MS3110的微电容读出电路设计
【摘 要】
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电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究。了解其使用性能和参数设置方法，在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口。实
【机 构】
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南京理工大学机械工程学院
【出 处】
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机械制造与自动化
【发表日期】
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2017年2期
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