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面接触三探针测试硅外延片的电阻率
面接触三探针测试硅外延片的电阻率
来源 :分析测试学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liming10060651088
【摘 要】
:
本法(以下简称面三探针)是我国首创,它比点接触方法优越得多,可扩大目前外延片电阻率三探针测试的范围。本文阐述使用该法对校正样块硅单晶和外延片测试的情况。
【作 者】
:
吴泳章
朱德平
张海民
鲁松年
【机 构】
:
上海市测试技术研究所,上海冶炼厂
【出 处】
:
分析测试学报
【发表日期】
:
1993年02期
【关键词】
:
探针
电阻率
硅
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本法(以下简称面三探针)是我国首创,它比点接触方法优越得多,可扩大目前外延片电阻率三探针测试的范围。本文阐述使用该法对校正样块硅单晶和外延片测试的情况。
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