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改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到99.999%。
改良西门子法生产多晶硅精馏工艺的改进
【摘 要】
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改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法,对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进。结果表明,改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼、磷等杂质的含量,最
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司,中国科学院青海盐湖研究所
【出 处】
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有色金属(冶炼部分)
【发表日期】
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2013年09期
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