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通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是用于需要高蚀刻速率时。在通常条件下,可进行方便的管理。
三氟化氮-一种新型干蚀刻气
【摘 要】
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通过对三氟化氮特种气体理化性质、气体制备方法、纯度分析、毒性和检测、气体管理及存储、以及杂质的清除等的论述,阐明了三氟化氮作为一种干气体蚀刻剂有潜在的优势,特别是
【机 构】
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中核红华特种气体股份有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2006年04期
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