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通过光刻胶在显影过程中的理论分析,重点论述了酚醛树脂的分子量及其分布、序列结构、甲酚异构体的比例对光刻胶性能的影响,得出的结果可在设计酚醛树脂时作参考。
酚醛树脂对光刻胶性能的影响
【摘 要】
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通过光刻胶在显影过程中的理论分析,重点论述了酚醛树脂的分子量及其分布、序列结构、甲酚异构体的比例对光刻胶性能的影响,得出的结果可在设计酚醛树脂时作参考。
【机 构】
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东南大学化学化工系,淮阴师范学院
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2002年12期
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