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设计了电场式时栅位移传感器信号处理电路的硬件平台,阐述了整个硬件平台的设计与研制过程。该平台以SOPC技术为基础,在单片FPGA上实现整个硬件平台系统的构建,将信号的采集、处理和传输集成在单片FPGA上,电路简单、稳定性好。将该信号处理电路用于电场式直线位移传感器实验系统,在数据未经修正的情况下,在200 mm测量范围内传感器的误差峰峰值为0.8μm,表明该信号处理电路实现了对电场式时栅40 k Hz的信号的高性能处理,从而实现了电场式时栅位移传感器的高精度、实时测量。