【摘 要】
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在使用玻璃浆料对MEMS器件进行封装的过程中,中间层即玻璃浆料薄层的厚度、宽度等参数会对封装强度 和气密性等产生至关重要的影响.为了有效控制玻璃浆料层的宽度、厚度,文中
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在使用玻璃浆料对MEMS器件进行封装的过程中,中间层即玻璃浆料薄层的厚度、宽度等参数会对封装强度 和气密性等产生至关重要的影响.为了有效控制玻璃浆料层的宽度、厚度,文中首次研究了利用微接触转印方法进行玻 璃浆料薄膜的制备.在对微接触转印工艺流程和微接触转印装置的优化设计之后,采用了不同厚度的凸模进行了玻璃浆 料的微接触转印实验.实验结果表明：通过微接触转印可以制得表面光滑边缘整齐的玻璃浆料薄膜,其宽度随着凸模厚度 的减小而减小,厚度基本保持不变;在凸模厚度为70 μm时,获得了玻璃浆料薄膜的宽度和厚度分别
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