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概述了含有Ｐｄ化合物、吡啶磺酸或其盐／吡啶羧酸或其盐等组成的Ｐｄ镀液，可以获得适用于半导体器件制造用的高纯度Ｐｄ镀层。
电镀钯（Pd）
【摘 要】
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概述了含有Ｐｄ化合物、吡啶磺酸或其盐／吡啶羧酸或其盐等组成的Ｐｄ镀液，可以获得适用于半导体器件制造用的高纯度Ｐｄ镀层。
【机 构】
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南京得实集团
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年6期
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