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扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.文章主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加工等SPM纳米加工方法的机理、特点及研究进展,提出了今后需要重视的研究方向.
基于扫描探针显微镜的纳米加工技术研究进展
【摘 要】
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扫描探针显微镜(SPM)纳米加工技术是当前非常活跃的纳米加工研究领域,其研究成果有可能成为微纳米器件制作的主要方法.文章主要介绍了单原子操纵、阳极氧化法,以及机械刻蚀加
【机 构】
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重庆大学数理学院
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2005年2期
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