【摘 要】
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为了提高三维测头集成度和测量精度，设计了一种基于柔性铰链的整体式三维测头机构．通过分析柔性铰链机构和其力学特性，建立了柔性铰链机构转角与受外力作用之间的关系．在计算柔性
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为了提高三维测头集成度和测量精度，设计了一种基于柔性铰链的整体式三维测头机构．通过分析柔性铰链机构和其力学特性，建立了柔性铰链机构转角与受外力作用之间的关系．在计算柔性铰链转角的基础上，给出了柔性铰链的弹性系数k的数学表达式．由理论分析可知，测头受力F和工作台位移δ呈线性关系，从理论上保证了测量精度．
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