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本文介绍多光束干涉在光电精密对准中的应用．
多光束干涉在精密测试技术中的应用探讨
【摘 要】
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本文介绍多光束干涉在光电精密对准中的应用．
【机 构】
：
新天精密光学仪器公司
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年6期
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