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根据超声振动加工硬脆材料的特性，结合已完善的微铣削加工平台，采用超声振动辅助微铣削的方法加工石英玻璃，并与普通微铣削进行了对比。通过单因素分析法来研究加工表面质量随各铣削参数的变化规律。结果表明：超声振动对硬脆材料的微铣削加工是有利的，且以表面质量较好、加工效率较高为目标，得出了最佳铣削参数组合。