【摘 要】
：
集成电路规模庞大、结构复杂,随着集成电路制造工艺进入纳米尺度,复杂制造工艺中的工艺波动严重影响电路性能,给集成电路设计带来了巨大的挑战.集成电路互连线建模与光刻仿真
【机 构】
：
复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室,中国科学院数学与系统科学研究院科学与工程计算国家重点实验室(LSEC),
论文部分内容阅读
集成电路规模庞大、结构复杂,随着集成电路制造工艺进入纳米尺度,复杂制造工艺中的工艺波动严重影响电路性能,给集成电路设计带来了巨大的挑战.集成电路互连线建模与光刻仿真涉及大规模Maxwell方程的数值求解,计算复杂度高、规模庞大.本文主要综述了在973项目资助下,基于中国科学院科学与工程计算国家重点实验室陈志明教授提出的并行自适应有限元理论及大规模并行计算平台PHG发展的纳米集成电路互连线建模和光刻仿真的大规模并行计算方法.在集成电路互连线建模方面,一方面,综述了寄生电容参数提取的并行自适应有限元方法 ParAFEMCap,该方法实现了可以在上百乃至上千CPU核上运行的并行寄生电容提取,在1536 CPU核计算平台上达到75.7%左右的并行效率;另一方面,综述了一种结合边界元法和随机法的混合算法BIE-WOS,用于导体或介质面电荷密度计算,该方法具有随机法天然并行性的优势,易于实现大规模并行计算,本文进一步在5120核计算平台上验证了算法近似线性的并行加速比.在光刻仿真方面,基于自适应有限元计算框架(PHG)提出了集成电路光刻的并行自适应仿真方法,采用各项异性的单轴完美匹配层方法处理散射边界条件.
其他文献
配网的自动化建设主要工作是对各项规章制度的制定和完善,而运行管理是指主要针对专业的工作人员进行技能的培训,以保证自动化系统能够正常运行,保证各个部门工作的顺利开展
<正>由郑炳林教授作为项目负责人申报的"十二五"国家科技支撑计划国家文化科技创新工程2013年度项目"丝绸之路文化溯源展示系统技术集成与应用(项目编号:2013BAH40F00)"近日
在时代和科技共同发展的今天,人们的消费方式和消费理念都发生着巨大的变化。绿色消费作为现代消费的主题正广泛的推广着,营销市场正因为如此面临着巨大的变革,绿色营销就是
在深化改革的新形势下,中央城镇化工作会议的召开提出了推进城镇化的主要任务,积极稳妥地推进新型城镇化作为国家战略,将成为各行业各部门的发展重点,而城乡规划在深化改革和
随着我国新型城镇化建设的推进和旅游业的快速发展,许多城市都把旅游业和新城的开发建设作为城市功能升级、产业转型的重要方式。新型城镇化注重转变产业发展模式,实现产业与
摄影测量和遥感学是一门艺术、科学和技术,通过使用无人操作的成像仪器和其他传感器平台对地表进行监测,然后对采集的数据进行平台化处理,从而获得关于地球及其地表信息以及
新时代下国内的电力企业走向了发展新道路,其中配网自动化的建设也不断加强,在提高电力行业的供电效率的同时,还促进了企业的生产管理,减少了客户的用电和断电问题。但目前配
随着世界经济的快速一体化,各类产品的市场变得越来越广阔,许多生产者开始将目光投向广阔的国际市场,引发许多的外贸风波。茶叶产品就是在这种大环境下走出国门,向国外输出我
习近平美丽乡村思想的＂人民中心＂价值理念主要体现在乡风文明、乡村致富、乡村宜居和乡村安定有序几个方面。通过总结归纳美丽乡村思想的价值意蕴,并在此基础上提出促进美丽乡
对凯里市土地资源的适宜性、利用潜能及人口承载能力等方面进行了分析,并提出贫困地区实现土地资源合理利用的对策.