论文部分内容阅读
<正>我厂1976年购进一台北京仪器厂首批生产的电子束蒸铝设备:DMP-450型电子束真空镀膜机.虽经反复调试,最大功率(8kW)的蒸铝速度仍低而不稳,在2000～3000埃/分之间.说明书中保证的最低蒸发速度指标:2500埃/分已基本达到.但我厂有些集成电路和硅元件要求蒸铝较厚,达3～4微米,要在最大功率下分4～5次蒸发,共需10多分钟,设备受高电压大功率负荷很重,冷却传热的负荷也很重,自动复位柜中开关电子管经常动作,发红过荷,也