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建立了基于流体固体耦合单元的电容式微超声传感器（cMUT）的有限元模型，通过对模型进行声场仿真分析，研究传感器阵列在不同介质中工作时的声场特性，如，谐振频率，发射声压等；分析了传感器振动膜半径、空腔厚度以及传感器单元间距的变化对其发射声压幅值和带宽的影响。仿真分析的结果表明：增大传感器的发射声压带宽，可以通过增大振动膜半径、减小空腔厚度或者减小传感器阵列中单元的距离来实现。