离子束辅助淀积下Cu／Si系统相变研究

来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong576

【摘要】

：

研究在离子束条件下硅基底上淀积金属薄膜及其界面结构在退火条件下金属硅化物的形成和变化特点,即15keV的Ar+在IBAD条件下直接生成Cu15Si4相.IBAD复合薄膜样品在退火前无新

【作者】

：

张楠邱安平

【机构】

：

黑龙江大学电子工程学院

【出处】

：

哈尔滨理工大学学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

金属硅化物相变金属薄膜铜硅界面退火反应离子束辅助沉积真空镀膜 ion beam silicide of metal metallographic

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研究在离子束条件下硅基底上淀积金属薄膜及其界面结构在退火条件下金属硅化物的形成和变化特点,即15keV的Ar+在IBAD条件下直接生成Cu15Si4相.IBAD复合薄膜样品在退火前无新相生成,而退火后形成ε相,不同于通常Cu-Si退火反应生成ε相的相序.研究证明在Cu-Si界面退火反应系统中,ε相的成核是得到稳定相结构的关键.

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