【摘 要】
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采用溶液聚合法合成了水溶性丙烯酸树脂（WBAC），将其与季戊四醇三丙烯酸酯（PETA）、紫外光引发剂调配制备了水性丙烯酸光致抗蚀干膜。傅里叶红外光谱分析表明，PETA和WBAC发生了光固化
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采用溶液聚合法合成了水溶性丙烯酸树脂（WBAC），将其与季戊四醇三丙烯酸酯（PETA）、紫外光引发剂调配制备了水性丙烯酸光致抗蚀干膜。傅里叶红外光谱分析表明，PETA和WBAC发生了光固化交联反应；光致抗蚀干膜感光层涂膜性能测试表明，经uV固化后涂膜的凝胶率和硬度能显著提高，改善涂膜的耐溶剂性，降低了涂膜的水溶性；GPC和TG分析表明，经uV固化后，光致抗蚀干膜相对分子质量明显变大，耐热性能显著提高。PETA和WBAC的质量比0．4时，UV固化后光致抗蚀干膜的水溶性5．54％，乙醇失质量率叭为5．56％，
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